超臨界干燥可用于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的生產(chǎn)，香料的干燥，氣凝膠的生產(chǎn)，咖啡的脫咖啡因以及用于掃描電子顯微鏡的生物樣品的制備。
  
  適用于超臨界干燥的流體包括二氧化碳（臨界點(diǎn)304.25K，7.39MPa或31.1℃，1072psi）和氟利昂（≈300K，3.5-4MPa或25-0℃，500-600psi），一氧化二氮具有與二氧化碳類(lèi)似的物理行為，但是在其超臨界狀態(tài)下是強(qiáng)氧化劑。超臨界水是不方便的，因?yàn)樵谂R界點(diǎn)溫度（647K，374°C）下樣品可能受到熱損壞，并且在如此高的溫度和壓力（22.064MPa，3,212psi）下水的腐蝕性。
  
  在大多數(shù)此類(lèi)方法中，首先使用丙酮洗去所有水，利用這兩種流體的完全混溶性。然后用高壓液態(tài)二氧化碳洗去丙酮，現(xiàn)在是氟利昂不可用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。然后加熱液態(tài)二氧化碳直至其溫度超過(guò)臨界點(diǎn)，此時(shí)壓力可逐漸釋放，使氣體逸出并留下干燥的產(chǎn)物。